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High Precision Stress Measurements in Semiconductor Structures by Raman Microscopy

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Personen und Körperschaften: Uhlig, Benjamin, Eng, Lukas, Michaelis, Alexander
Titel: High Precision Stress Measurements in Semiconductor Structures by Raman Microscopy
Hochschulschriftenvermerk: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2009
Format: E-Book Hochschulschrift
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
Online-Ausg.. 2010
Schlagwörter:
Quelle: Qucosa