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Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten
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Personen und Körperschaften: | , , , |
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Titel: | Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten |
Hochschulschriftenvermerk: | Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2004 |
Format: | E-Book Hochschulschrift |
Sprache: | Deutsch |
veröffentlicht: |
Online-Ausg..
2004
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Schlagwörter: | |
Quelle: | Qucosa |