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Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Personen und Körperschaften: Engisch, Lutz, Marx, Günter, Müller, Eberhard, Husemann, K.
Titel: Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten
Hochschulschriftenvermerk: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2004
Format: E-Book Hochschulschrift
Sprache: Deutsch
veröffentlicht:
Online-Ausg.. 2004
Schlagwörter:
Quelle: Qucosa