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Porous Ultra Low-k Material Integration Through An Extended Dual Damascene Approach: Pre-/ Post-CMP Curing Comparison
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
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Titel: | Porous Ultra Low-k Material Integration Through An Extended Dual Damascene Approach: Pre-/ Post-CMP Curing Comparison |
Format: | E-Book |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Chemnitz
Technische Universität Chemnitz
Online-Ausg.. 2016 |
Gesamtaufnahme: |
Porous Ultra Low-k Material Integration Through An Extended Dual Damascene Approach: Pre-/ Post-CMP Curing Comparison; AMC 2015 – Advanced Metallization Conference |
Schlagwörter: | |
Quelle: | Qucosa |